飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)具備樣品表面微觀形貌觀測(cè)和表面元素成分點(diǎn)、線、面分析，將電鏡和能譜在生產(chǎn)環(huán)節(jié)集成在一臺(tái)設(shè)備中，后期通過(guò)一個(gè)軟件平臺(tái)控制操作，用戶只需要熟悉一個(gè)軟件就能同時(shí)操控兩項(xiàng)功能，技術(shù)支持也變得相對(duì)簡(jiǎn)單快速。
電鏡能譜一體機(jī)是全數(shù)字化控制，電子顯微成像分析儀器，配置有三級(jí)電磁透鏡，大變焦范圍，長(zhǎng)工作距離，多孔徑光闌，輕松獲得材料表面高分辨、大景深、高質(zhì)量的微觀形貌導(dǎo)航圖，能夠?qū)ξ⒚讈單⒚追秶瘜W(xué)元素組成進(jìn)行快速鑒定，即使未經(jīng)專業(yè)培訓(xùn)，也能夠得心應(yīng)手。
電鏡能譜一體機(jī)全數(shù)字控制，專業(yè)級(jí)電子顯微成像儀器，標(biāo)配探測(cè)器，可選樣品倉(cāng)低真空環(huán)境功能，直接測(cè)試非導(dǎo)電樣品，主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊，系統(tǒng)高度集成，良好散熱及電磁兼容性能，輕質(zhì)合金外殼，數(shù)字加工成型，具有良好電磁屏蔽功能，集背散射電子成像、二次電子成像和能譜分析于一體，電鏡操作簡(jiǎn)單，效率高，無(wú)需防震臺(tái)和磁屏蔽，無(wú)樓層要求。
飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)腔室設(shè)計(jì)得到探測(cè)角度和工作距離，顯著提高X射線的收集效率，采用穩(wěn)定堅(jiān)固的超薄窗口，透過(guò)率在低能量范圍，是聚合物窗口的2-3倍，適合輕元素檢測(cè)和低電壓能譜分析。飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在對(duì)厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時(shí)，因?yàn)樵谕干潆娮语@微鏡中還要采用復(fù)膜方法，而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10nm，且觀察的不是試樣本身，因此，用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實(shí)的試樣表面資料。
由于工作距離大(可大于20mm)，焦深大(比透射電子顯微鏡大10倍)，樣品室的空間也大，因此，可以讓試樣在三度空間內(nèi)有6個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)(即三度空間平移、三度空間旋轉(zhuǎn))，且可動(dòng)范圍大，這對(duì)觀察不規(guī)則形狀試樣的各個(gè)區(qū)域帶來(lái)大的方便。
