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通過之前的 “如何通過選擇加速電壓來提高掃描電鏡的圖像質(zhì)量” 與 “樣品導(dǎo)電性對掃描電鏡成像的影響” 這兩篇文章,大家都了解了加速電壓與樣品導(dǎo)電性對圖像的成像質(zhì)量有非常大的影響。
其實(shí),除了加速電壓與樣品的導(dǎo)電性,電鏡的束流強(qiáng)度、圖像亮度對比度、圖像像散等都會影響掃描電鏡圖像的成像質(zhì)量。今天,這篇文章將圍繞如何選擇束流強(qiáng)度,提高樣品的成像質(zhì)量。
掃描電鏡的發(fā)射束流強(qiáng)度對圖像的信噪比和分辨率(resolution)有著決定性的影響。大束流可以提高圖像的信噪比,但是分辨率較低。小束流則正好相反,具有較高的分辨率,但信噪比較差。
在這里,小編需要給大家簡單科普一下分辨率與信噪比的含義,有利于大家理解后面的內(nèi)容:
分辨率是掃描電鏡主要性能指標(biāo),對成像而言,指能分辨兩點(diǎn)之間的小距離(如圖1 所示)。通常來說,分辨率越高,樣品的邊緣會越鋒利。
圖1 分辨率定義(兩點(diǎn)間距離)?
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